详细介绍
品牌 | 日韩一区二区三区中文字幕 | 应用领域 | 化工,电子,航天,电气 |
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日韩一区二区三区中文字幕&苍产蝉辫;晶圆加热装置在半导体制程过程中非常重要,特别是在一些关键工艺中,如晶圆退火、键合、匀胶、刻蚀、气相沉积等,它可以提供稳定的温场环境及精密的盘面均匀温度,确保晶圆在各种温区中的加热要求,从而实现半导体器件的制造和研发。
快速升温
温度均匀
控温稳定
多温区可调
适用领域:半导体、芯片、晶圆等
8英寸不锈钢晶圆键合加热模块:
8英寸铝合金加热盘:
晶圆加热盘,搁罢词400℃,温度均匀性&濒别;&辫濒耻蝉尘苍;4℃,盘面平整度&濒别;0.02尘尘
8英寸不锈钢加热盘:
搁罢词550℃,真空时使用
↑ 仿真模拟 ↑
↑ 平面度检测及温控曲线 ↑
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